測(cè)量低于大氣壓的氣體壓強(qiáng)的工具稱為真空計(jì)，真空計(jì)可以直接測(cè)量氣體的壓強(qiáng)，也可以通過與壓強(qiáng)有關(guān)的物理量來間接測(cè)量壓強(qiáng)。前者稱為絕對(duì)真空計(jì)，后者稱為相對(duì)真空計(jì)。按真空計(jì)的不同原理和結(jié)構(gòu)可以分為以下幾類。

 

（1）靜態(tài)變形真空計(jì)，利用與真空相連的容器表面上受到大氣壓的作用，以產(chǎn)生彈性變形來測(cè)量壓強(qiáng)。

 

（2）靜態(tài)液體真空計(jì)，利用U形管兩端的頁面差來測(cè)量壓強(qiáng)。

 

（3）壓縮式真空計(jì)，在U形管基礎(chǔ)上，應(yīng)用波義耳定律，即將一定的氣體經(jīng)過壓縮，使其壓強(qiáng)增加，根據(jù)體積和壓強(qiáng)的關(guān)系計(jì)算出被測(cè)氣體的壓強(qiáng)。此類真空計(jì)使用普遍，是一種絕對(duì)真空計(jì)。

 

（4）熱傳導(dǎo)真空計(jì)，利用真空中氣體分子多少與熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理，常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。

 

（5）電離真空計(jì)，其原理是利用氣體稀薄時(shí)的電離現(xiàn)象，以離子電流與氣體壓強(qiáng)成正比測(cè)量離子電流，即可間接測(cè)出氣體的壓強(qiáng)。

 

（6）氣體放電真空指示器，利用氣體輝光放電的輝光厚度或顏色與壓強(qiáng)有關(guān)的性質(zhì)做指示器。此指示器僅能定性測(cè)量。